Beschreibung
Auf den Punkt gebracht
Die Linseis HCS Systeme werden hauptsächlich zur Charakterisierung von Halbleiter Materialien verwendet. Sie können sowohl die Hall-Konstante und den spezifischen Widerstand, als auch die daraus abgeleiteten Ladungsträger-Konzentration und Hall Mobilitäten der Proben bestimmen. Die Desktop-Grundeinheit gibt es in unterschiedlichen Konfigurationen, welche unter anderem mit verschiedenen Probenhaltern für unterschiedliche Probengeometrien und Temperaturanforderungen bestückt werden kann.
Eine optionale Tieftemperaturerweiterung für die Ntuzung von flüssigem Stickstoff sowie eine Hochtemperaturversion bis zu 800°C garantieren, dass alle denkbaren Anwendungsbereiche abgedeckt werden können. Die verbauten Permanent- und Elektro-Magneten liefern dabei fixe oder variable Magnetfelder von bis zu knapp einem Tesla. Die zugehörige, umfassende und Windows©-basierte Software ermöglicht die unkomplizierte Aufnahme von I-V und I-R Kurven sowie Messung und auswertung der Hall-Mobilität, elektrischen Leitfähigkeit und Ladungsträger-Konzentration.
Die Linseis HCS Systeme können dabei verschiedenste Materialien vermessen, unter anderem Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (N Typ & P Typ) aber auch Metallschichten, Metalloxide und viele mehr. Gerne demonstrieren wir Ihnen die Leistungsfähigkeit des Gerätes anhand von Probemessungen in unserem Applikationslabor.
Messfunktionen:
- Ladungsträgerdichte (Schicht [1/cm²]/Vollmaterial [1/cm³])
- Hall-Konstante [cm³/C]
- Hall-Beweglichkeit [cm²/Vs]
- Schichtwiderstand [Ω]
- Spezifischer Widerstand [Ωcm]
- Elektrische Leitfähigkeit[S/cm]
- Alpha (Verhältnis aus horizontalem zu vertikalem Widerstand)
- Magnetwiderstand
- Seebeck Koeffizient (µV/K)
Geräteeigenschaften:
- Gasdichte Messkammer, welche Messungen unter definierten Atmosphären oder Vakuumbedingungen ermöglicht
- Magnete mit 120 mm Durchmesser für höchste Feldhomogenität und maximale Genauigkeit (Proben bis 50mm x 50mm sind möglich)
- Modulares und aufrüstbares Systemdesign
- Hochtemperaturversion bis 800°C/873K
- Beleuchtungsoption mittels LED (mehrere Wellenlängen sind möglich)
- Optionaler Lock-In-Verstärker für Messungen mit geringstem Rauschen
- Anschluss zur Verwendung von externer Messelektronik
- Integriertes Softwarepaket für benutzerfreundliche Bedienbarkeit
Unique Features
Vielseitige Messmöglichkeiten: Bestimmung von Hall-Konstante,
spezifischem Widerstand, Ladungsträger-Konzentration
und Hall-Mobilität.
Breiter Temperaturbereich: Messungen von
Tieftemperaturen (LN2) bis zu 800°C möglich.
Modulares Systemdesign: Anpassbar mit verschiedenen
Probenhaltern und Temperaturerweiterungen.
Hohe Feldhomogenität: 120 mm Magnete für höchste Genauigkeit.
Integrierte Software:
Benutzerfreundliche Bedienung
und umfassende Datenanalyse.
Service-Hotline
+49 (0) 9287/880 0
Donnerstag von 8-16 Uhr erreichbar
und Freitag von 8-12 Uhr.
Wir sind für Sie da!
Spezifikationen
Schwarz auf Weiß
MODELL | HCS 1 |
|---|---|
| Temperaturbereich: | Von LN2 bis zu 600°C in verschiedenen Ausführungen -160°C (Quench-Kühlung) -196°C (Abkühlung) |
| Magnet: | zwei Permanentmagnete mit +/- 0,7T Durchmesser der Stange 120 mm für höchste Gleichmäßigkeit (+/- 1% über 50mm) |
| Stromzufuhr: | DC 1nA bis zu 125mA (8 Dekaden / Einhaltung +/- 12V) |
| Messung der Spannung: | DC rauscharm / geringe Abweichung 1μV bis zu 2500mV, 4 Dekaden Verstärkung, Digitale Auflösung: 300pV |
| Sensoren/ Probengeometrie: | - von 5 x 5 mm2 bis 12,5 x 12,5 mm2, maximale Probenhöhe 3 mm - von 17,5 x 17,5 mm2 bis zu 25 x25 mm2, maximale Probenhöhe 5 mm - von 42,5 x 42,5 mm2 bis zu 50 x 50 mm2, maximale Probenhöhe 5 mm - Hochtemperaturplatte, 10 x 10mm2, max. Probenhöhe 2mm |
| Widerstandsbereich: | 10-4 bis zu 107(Ωcm) |
| Ladungsträgerkonzentration: | 107 bis zu 1021cm-3 |
| Ladungsträgermobilität: | 0,1 bis 107(cm2/Volt sek) |
| Atmosphären: | Vakuum, inert, oxidierend, reduzierend |
| Temperaturgenauigkeit: | 0.05°C |
MODELL | HCS 10 |
|---|---|
| Temperaturbereich: | Von LN2 bis zu 600°C in verschiedenen Ausführungen -160°C (Quench-Kühlung) -196°C (Quench-Kühlung) |
| Magnet: | Elektromagnet bis zu +/- 1 T variables Gleichfeld, Poldurchmesser 76 mm, Stromversorgung 75A / 40V. Stromumkehrschalter für bipolare Messung. Alternative AC-Option für ein magnetisches Wechselfeld mit ~1 T nutzbarem Feld, bei einer Frequenz von bis zu 0,1 Hz |
| Stromzufuhr: | DC 1nA bis zu 125mA (8 Dekaden / Einhaltung +/- 12V) AC 16 μA bis zu 20 mA und Eingangsimpedanz: >100 GigaOhm von 1 mHz bis 100 kHz |
| Messung der Spannung: | DC rauscharm / geringe Abweichung 1μV bis zu 2500mV, 4 Dekaden Verstärkung, Digitale Auflösung: 300pV AC 20 nV bis zu 1V, variable Integrationszeiten und Verstärkung |
| Sensoren/ Probengeometrie: | - von 5 x 5 mm2 bis 12,5 x 12,5 mm2, maximale Probenhöhe 3 mm - von 17,5 x 17,5 mm2 bis 25 x 25 mm2, Maximale Probenhöhe 5 mm - von 42,5 x 42,5 mm2 bis zu 50 x 50 mm2, Maximale Probenhöhe 5 mm - Hochtemperaturplatte, 10 x 10 mm2, maximale Probenhöhe 2 mm |
| Widerstandsbereich: | 10-4 bis zu 107(Ωcm) |
| Ladungsträgerkonzentration: | 107 bis zu 1021cm-3 |
| Ladungsträgermobilität: | 10-3 ~ 107cm2V-1s-1 |
| Atmosphären: | Vakuum, inert, oxidierend, reduzierend |
| Temperaturgenauigkeit: | 0.05°C |
MODELL | HCS 100 |
|---|---|
| Temperaturbereich: | RT bis zu 500°C |
| Magnet: | Magnet bis zu 0,5 T (AC oder DC Feld) Multisegment Halbach Konfiguration, Innendurchmesser: 40mm, Höhe: 98mm |
| Stromzufuhr: | DC 1nA bis zu 125mA (8 Dekaden / Einhaltung +/- 12V) AC 16 μA bis zu 20 mA und Eingangsimpedanz: >100 GigaOhm von 1 mHz bis 100 kHz" |
| Messung der Spannung: | DC rauscharm / geringe Abweichung 1μV bis zu 2500mV, 4 Dekaden Verstärkung, Digitale Auflösung: 300pV AC 20 nV bis zu 1V, variable Integrationszeiten und Verstärkung" |
| Sensoren/ Probengeometrie: | Bis zu 10 x 10 mm2, maximale Probenhöhe 2,5 mm |
| Widerstandsbereich: | 10-5 bis zu 107(Ωcm) |
| Ladungsträgerkonzentration: | 107 bis zu 1022cm-3 |
| Ladungsträgermobilität: | 1 ~ 107cm2V-1s-1 |
| Atmosphären: | Vakuum, inert, oxidierend, reduzierend |
| Temperaturgenauigkeit: | 0.05°C |
HCS 100 Halbach-Magnet (Donute-Konfiguration)
HCS 1: Austauschbare Sensoren mit einem EPROM, für eine einfache Plug-and-Play-Benutzung.
Verfügbares Zubehör
- Es sind verschiedene Probenhalter für Messungen von LN2 bis zu 800°C erhältlich.
- Der Probenhaltergriff schließt die Messkammer vakuumdicht ab.
- Die Messkammer ist mit einem Ein- und Auslass für Gas versehen, so dass Messungen unter einer kontrollierten und wechselnden Atmosphäre durchgeführt werden können.
Die Magnetvarianten des HCS
Elektromagnetische Option (HCS 10)
Alternatif zum Permanentmagneten ist ein Elektromagnet-Kit erhältlich. Der wassergekühlte Elektromagnet arbeitet in Kombination mit einer programmierbaren Stromversorgung und einem Wendeschalter. Das Netzteil kann Ströme bis zu 75 A anlegen, was zu einer variablen Magnetfeldstärke von bis zu +/-1 T führt.
Detaillierte Ansicht des Messkörpers
Permament-Magnet-Option (HCS 1)
Der HCS 1 ist mit zwei Magnetkreisen (Neodym) ausgestattet, welcher auf einem beweglichen Schlitten montiert ist, der optional automatisierbar ist. Das System kann sowohl mit einer Tieftemperatur- als auch mit einer Hochtemperatur-Erweiterung ausgestattet werden.
Halbach-Option (HCS 100)
Der HCS 100 verwendet ein Magnet in Halbach-Konfiguration (Permanentmagnet in Donut-Konfiguration), um entweder ein DC- oder ein AC-Magnetfeld an die Probe anzulegen. In Kombination mit einem Wechselstrom, der von einem Lock-in-Verstärker geliefert wird, ist dieser Aufbau ein leistungsfähiges Werkzeug für die Untersuchung anspruchsvoller Proben, da auftretende Offsets sowie Rauschen in den meisten Fällen unterdrückt werden können.
Software
Werte sichtbar und vergleichbar machen
Alle LINSEIS-Geräte sind PC-gesteuert, wobei die einzelnen Software-Module ausschließlich unter Microsoft® Windows®-Betriebssystemen laufen. Die integrierte Software ermöglicht eine einfache Handhabung, Temperaturregelung, Datenerfassung und Datenauswertung.
Allgemein:
- NIST-Routine, um optimale Messeinstellungen zu finden und höchst genaue Ergebnisse zu erhalten
- Erweiterter Verbindungstest
- Mögliche Integration externer Elektronik
- Optionale Datenbank-Speicherung
- Optionale Integration eines Lock-in-Verstärkers
- Automatische Sensorerkennung (EEPROM)
- Automatische Auswertung
- Vollautomatische Regelung der Kühlung
- HCS 10 Online-Zugang zu Anpassungsdaten
Applikationen
Bestens informiert
