가스 주입 시스템

가스 혼합 시스템(가스 도징 시스템 - GDS)

설명

요점

초고진공, 대기압 또는 고압에서 작업하고자 하는 경우 Linseis L40 가스 도징 시스템(GDS) 은 완벽한 독립형 가스를 제공합니다. 요구 사항에 맞는 제어 시스템을 선택하세요. 선택적으로 부식성 가스를 사용할 수 있으며 대기의 습도를 정의할 수 있습니다.

고품질의 완전 전자 제어식 믹싱, – 계량 및 분석 구성 요소를 갖춘 완벽한 솔루션입니다. EGA 시리즈는 매우 정확한 가스 혼합을 가능하게 합니다. 이러한 재현 가능한 조건에서만 고품질 측정을 수행할 수 있습니다. 아주 작은 편차도 주변 대기에 악영향을 미치고 측정 결과에 큰 영향을 미칠 수 있습니다.

고유 기능

광범위한 응용 분야:
초고진공,
정상 압력 및 고압 조건에 적합합니다.

부식성 가스 및 정의된 가습:
부식성 가스 및 정의된
가스 가습 사용 가능(선택 사항). 응결 트랩 및 제어식 배기 가스 배출구 포함.

정밀한 가스 혼합:
혼합, 주입 및
분석 구성 요소의 완전 전자 제어
.

확장 옵션:
직관적인 터치스크린 디스플레이
및 자동 대피
및 압력 제어.

고성능 질량 유량 제어기:
최대 150bar의 대기압에서 사용, 최대 2400°C의 온도에서
. 수증기를 포함한 다양한 가스 사용 가능.

서비스 핫라인

+1 (609) 223 2070

+49 (0) 9287/880 0


서비스 이용 가능 시간은 월요일부터 목요일 8~16시
, 금요일 8~12시입니다.

저희가 도와드리겠습니다!

사양

대기 가스 주입 시스템 L40/205:

L40/205* 시리즈는 최대 4개의 가스를 혼합할 수 있는 경제적인 엔트리 버전입니다.
솔레노이드 밸브를 사용하여 가스를 자동으로 켜고 끌 수 있습니다.
유량은 고정밀 핸드 로타미터로 제어됩니다.

MODEL

GAS PIPES

PRESSURE LEVEL

DOSING-
MECHANISM

L40/20522Up to 1 barElectromagnetic valve
L40/20533Up to 1 barElectromagnetic valve
L40/20544Up to 1 barElectromagnetic valve

MODEL

GAS PIPES

PRESSURE LEVEL

DOSING-
MECHANISM

L40/2052/HP502+1 for pressure controlUp to 50 barMFC
L40/2053/HP503+1 for pressure controlUp to 50 barMFC
L40/2054/HP504+1 for pressure controlUp to 50 barMFC

압력 가스 도징 시스템 L40/205./HP50:

L40/205*/HP50 시리즈는 완전 전자식 가스 유량 제어 기능을 제공합니다.
안목 있는 고객을 위한 편리한 작동 및 제어 환경을 제공합니다.
최대 50bar의 압력에서 최대 4개의 가스를 제어할 수 있습니다.
고품질 MFC 기술은 가스 혼합물 생산을 위한 최고 수준의 유연성과 정밀도를 보장합니다.

압력 가스 도징 시스템 L40/205./HP150:

L40/205*/HP150 시리즈는 가스 주입 시스템에서 가장 높은 기준을 충족하도록 설계되었습니다.
이 프리미엄 버전은 최대 150bar의 압력에 대해 최고의 유연성과 정밀도를 제공합니다.
스테인리스 스틸로 제작되어 대부분의 부식성 가스에도 사용할 수 있습니다.

MODEL

GAS PIPES

PRESSURE LEVEL

DOSING-
MECHANISM

L40/2052/HP1502+1 for pressure controlUp to 150 barMFC
L40/2053/HP1503+1 for pressure controlUp to 150 barMFC
L40/2054/HP1504+1 for pressure controlUp to 150 barMFC

업그레이드 옵션:

모든 가스 계량 유닛은 직관적인 터치스크린 디스플레이로 확장할 수 있습니다. 사용자는 모든 프로세스와 프로세스 파라미터를 직접 제어할 수 있습니다. 가스 계량 장치를 편안하게 조작할 수 있습니다.  인트라넷 또는 인터넷을 통해 높은 수준의 작동 편의성과 안전성을 제공합니다(예: 사용 시). 유해 물질.

가스 측정 장치는 자동 배기 및 압력 제어를 통해 확장할 수 있으며, 반응 또는 측정 챔버에서 가스를 먼저 제거할 수 있어 가스 대기의 구성을 크게 증가시킬 수 있고 진공 시스템에서도 사용할 수 있습니다.

선택적으로 증발기 시스템을 연결하여 습한 가스 분위기에서 작동할 수 있습니다. 마이크로 도징 시스템을 통해 증발기는 정확한 가스 가습을 보장하고 수분 함량을 정확하게 조정할 수 있습니다.

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