열전 재료 는 온도 구배를 전압으로 변환하는 열전 발전기에 사용됩니다. 열전 소재의 성능을 특성화하기 위해 소위 말하는 능력 지수(ZT) 는 열전 소재의 성능을 특성화하는 데 사용됩니다. 성능 지수를 계산하기 위해서는 열 전도성, 전기 전도도시벡 계수 를 알아야 합니다. 금속 박막은 해당 벌크 재료에 비해 열 및 전기 전도도가 낮은 반면, Seebeck 계수는 영향을 덜 받아 ZT 값이 더 높습니다. 금속 박막은 집적 회로 제조와 같은 산업 분야에서 자주 사용됩니다.

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번호 02-013-002 TFA – 열전 박막 – 열전 특성 – 금속 및 합금

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전기 전도도, 열 전도도 및 시벡 계수는 DC 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 두께 100nm의 금(Au) 나노층에서 225K ~ 375K의 온도 범위에서 측정했습니다.
이 파라미터로부터 ZT를 계산했습니다.
이 박막의 측정된 열 및 전기 전도도는 벌크 재료의 약 절반 수준이었습니다.
고전적인 크기 효과의 명확한 영향을 보여주는 이 결과는 비데만-프란츠 법칙과 완벽하게 일치하는 것으로 확인되었습니다.

적합한 측정 장치