애플리케이션: TIM 테스터 - 금속

열전 재료 는 온도 구배를 전압으로 변환하는 열전 발전기에 사용됩니다.

열전 소재의 성능을 특성화하기 위해 소위 말하는 능력 지수(ZT) 는 열전 소재의 성능을 특성화하는 데 사용됩니다.

장점 수치를 계산하려면 열 전도성, 전기 전도도 와 시벡 계수 를 알아야 합니다.

해당 벌크 재료에 비해 금속 박막은 열 및 전기 전도도가 낮은 반면 Seebeck 계수는 영향을 덜 받아 ZT 값이 높아집니다.

금속 박막은 집적 회로 제조와 같은 산업 분야에서 자주 사용됩니다.

전기 전도도, 열 전도도 및 시벡 계수는 DC 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 100nm 두께의 금(Au) 나노층에서 225K ~ 375K의 온도 범위에서 측정했습니다.

ZT는 이러한 매개변수에서 계산되었습니다.

이 박막의 측정된 열 및 전기 전도도는 벌크 재료의 약 절반 수준이었습니다.

고전적 크기 효과의 명확한 영향을 보여주는 결과를 확인한 결과, 비데만-프란츠 법칙과 완벽하게 일치하는 것으로 나타났습니다.

적합한 측정 장치

박막의 물리적 특성 측정