인듐주석산화물(ITO)은 가시광선에 투명하므로 광학적으로 투명한 반도체를 필요로 하는 많은 애플리케이션에 사용되는 반도체입니다.
특히 다이오드, 유리 기판의 마이크로 일렉트로닉스 또는 보이지 않는 안테나와 센서에는 ITO가 포함되거나 ITO로 구성되는 경우가 많습니다.
두 개의 다이어그램은 실온에서 200°C까지 두 개의 서로 다른 ITO 박막 샘플(모두 두께 185nm)에 대한 홀 상수, 이동도 및 저항률의 전체 측정값을 보여줍니다.
두 샘플 모두 스퍼터 증착으로 제작되었습니다. 홀 상수의 진한 파란색 곡선은 어느 정도 일정한 값을 나타내며, 이동도(빨간색)와 저항률은 온도에 따라 증가합니다.
