설명
요점
린사이스의 HCS 시스템은 주로 반도체 재료의 특성을 분석하는 데 사용됩니다.
이 시스템은 홀 상수와 비저항은 물론 이로부터 파생된 시료의 전하 캐리어 농도와 홀 이동도를 모두 측정할 수 있습니다.
데스크탑 기본 장치는 다양한 구성으로 제공되며, 다양한 시료 형상 및 온도 요구 사항에 따라 다양한 시료 홀더를 장착할 수 있습니다.
액체 질소 활용을 위한 저온 확장 옵션과 최대 800°C의 고온 버전이 있어 상상할 수 있는 모든 적용 분야를 커버할 수 있습니다.
내장된 영구 자석과 전자석은 최대 1테슬라의 고정 또는 가변 자기장을 제공합니다.
Windows© 기반의 포괄적인 관련 소프트웨어를 사용하면 홀 이동도, 전기 전도도 및 전하 캐리어 농도의 측정 및 평가뿐만 아니라 I-V 및 I-R 곡선을 복잡하지 않게 기록할 수 있습니다.
Linseis HCS 시스템은 금속층, 금속 산화물뿐만 아니라 Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN(N형 및 P형)을 포함한 다양한 재료를 측정할 수 있습니다.
저희 애플리케이션 실험실에서 샘플 측정을 통해 기기의 성능을 시연해 드리겠습니다.
측정 기능:
- [1/cm²] [1/cm³]로드 캐리어 밀도(레이어/고체 재료 )
- 홀 상수 [cm³/C]
- 리버브 이동성 [cm²/Vs]
- 시트 저항 [Ω]
- 비저항 [Ωcm]
- 전기 전도성[S/cm]
- 알파(수평 저항과 수직 저항의 비율)
- 자기 저항
- 시벡 계수(µV/K)
디바이스 기능:
- 기밀 측정 챔버를 통해 정해진 대기 또는 진공 조건에서 측정 가능
- 최고의 필드 균질성과 최대 정확도를 위한 직경 120mm의 자석(최대 50mm x 50mm 샘플 가능)
- 모듈식 및 업그레이드 가능한 시스템 설계
- 최대 600°C/873K의 고온 버전
- LED 조명 옵션(여러 파장 사용 가능)
- 최소한의 노이즈로 측정할 수 있는 락인 앰프(옵션)
- 외부 측정 전자기기 사용을 위한 연결부
- 사용자 친화적인 조작성을 위한 통합 소프트웨어 패키지
고유 기능
다양한 측정 옵션:
홀 상수, 비저항, 전하 캐리어 농도 및 홀 이동도 측정.
모듈식 시스템 설계: 다양한 샘플 홀더와 온도 확장으로 사용자 지정할 수 있습니다.
높은 필드 균질성: 120mm 자석으로 정확도를 극대화합니다.
통합 소프트웨어: 사용자 친화적인 운영과 종합적인 데이터 분석.
서비스 핫라인
+49 (0) 9287/880 0
서비스 이용 가능 시간은 월요일부터 목요일 오전 8시부터 오후 4시까지, 금요일 오전 8시부터 오후 12시까지입니다.
저희가 도와드리겠습니다!
사양
흰색에 검은색
MODELL | HCS 1 |
|---|---|
| Temperaturbereich: | Von LN2 bis zu 600°C in verschiedenen Ausführungen -160°C (Quench-Kühlung) -196°C (Abkühlung) |
| Magnet: | zwei Permanentmagnete mit +/- 0,7T Durchmesser der Stange 120 mm für höchste Gleichmäßigkeit (+/- 1% über 50mm) |
| Stromzufuhr: | DC 1nA bis zu 125mA (8 Dekaden / Einhaltung +/- 12V) |
| Messung der Spannung: | DC rauscharm / geringe Abweichung 1μV bis zu 2500mV, 4 Dekaden Verstärkung, Digitale Auflösung: 300pV |
| Sensoren/ Probengeometrie: | - von 5 x 5 mm2 bis 12,5 x 12,5 mm2, maximale Probenhöhe 3 mm - von 17,5 x 17,5 mm2 bis zu 25 x25 mm2, maximale Probenhöhe 5 mm - von 42,5 x 42,5 mm2 bis zu 50 x 50 mm2, maximale Probenhöhe 5 mm - Hochtemperaturplatte, 10 x 10mm2, max. Probenhöhe 2mm |
| Widerstandsbereich: | 10-4 bis zu 107(Ωcm) |
| Ladungsträgerkonzentration: | 107 bis zu 1021cm-3 |
| Ladungsträgermobilität: | 0,1 bis 107(cm2/Volt sek) |
| Atmosphären: | Vakuum, inert, oxidierend, reduzierend |
| Temperaturgenauigkeit: | 0.05°C |
MODELL | HCS 10 |
|---|---|
| Temperaturbereich: | Von LN2 bis zu 600°C in verschiedenen Ausführungen -160°C (Quench-Kühlung) -196°C (Quench-Kühlung) |
| Magnet: | Elektromagnet bis zu +/- 1 T variables Gleichfeld, Poldurchmesser 76 mm, Stromversorgung 75A / 40V. Stromumkehrschalter für bipolare Messung. Alternative AC-Option für ein magnetisches Wechselfeld mit ~1 T nutzbarem Feld, bei einer Frequenz von bis zu 0,1 Hz |
| Stromzufuhr: | DC 1nA bis zu 125mA (8 Dekaden / Einhaltung +/- 12V) AC 16 μA bis zu 20 mA und Eingangsimpedanz: >100 GigaOhm von 1 mHz bis 100 kHz |
| Messung der Spannung: | DC rauscharm / geringe Abweichung 1μV bis zu 2500mV, 4 Dekaden Verstärkung, Digitale Auflösung: 300pV AC 20 nV bis zu 1V, variable Integrationszeiten und Verstärkung |
| Sensoren/ Probengeometrie: | - von 5 x 5 mm2 bis 12,5 x 12,5 mm2, maximale Probenhöhe 3 mm - von 17,5 x 17,5 mm2 bis 25 x 25 mm2, Maximale Probenhöhe 5 mm - von 42,5 x 42,5 mm2 bis zu 50 x 50 mm2, Maximale Probenhöhe 5 mm - Hochtemperaturplatte, 10 x 10 mm2, maximale Probenhöhe 2 mm |
| Widerstandsbereich: | 10-4 bis zu 107(Ωcm) |
| Ladungsträgerkonzentration: | 107 bis zu 1021cm-3 |
| Ladungsträgermobilität: | 10-3 ~ 107cm2V-1s-1 |
| Atmosphären: | Vakuum, inert, oxidierend, reduzierend |
| Temperaturgenauigkeit: | 0.05°C |
MODELL | HCS 100 |
|---|---|
| Temperaturbereich: | RT bis zu 500°C |
| Magnet: | Magnet bis zu 0,5 T (AC oder DC Feld) Multisegment Halbach Konfiguration, Innendurchmesser: 40mm, Höhe: 98mm |
| Stromzufuhr: | DC 1nA bis zu 125mA (8 Dekaden / Einhaltung +/- 12V) AC 16 μA bis zu 20 mA und Eingangsimpedanz: >100 GigaOhm von 1 mHz bis 100 kHz" |
| Messung der Spannung: | DC rauscharm / geringe Abweichung 1μV bis zu 2500mV, 4 Dekaden Verstärkung, Digitale Auflösung: 300pV AC 20 nV bis zu 1V, variable Integrationszeiten und Verstärkung" |
| Sensoren/ Probengeometrie: | Bis zu 10 x 10 mm2, maximale Probenhöhe 2,5 mm |
| Widerstandsbereich: | 10-5 bis zu 107(Ωcm) |
| Ladungsträgerkonzentration: | 107 bis zu 1022cm-3 |
| Ladungsträgermobilität: | 1 ~ 107cm2V-1s-1 |
| Atmosphären: | Vakuum, inert, oxidierend, reduzierend |
| Temperaturgenauigkeit: | 0.05°C |
HCS 100 할바흐 자석(도넛 구성)
HCS 1: 간단한 플러그 앤 플레이 사용을 위한 EPROM이 포함된 교체 가능한 센서입니다.
사용 가능한 액세서리
- LN2에서 최대 600°C까지 측정할 수 있는 다양한 시료 홀더를 사용할 수 있습니다.
- 시료 홀더 손잡이는 측정 챔버를 진공 상태로 밀폐합니다.
- 측정 챔버에는 가스 흡입구와 배출구가 장착되어 있어 제어되고 변화하는 분위기에서 측정을 수행할 수 있습니다.
HCS의 자석 변형
전자기 옵션(HCS 10)
영구 자석의 대안으로 전자석 키트를 사용할 수 있습니다. 수냉식 전자석은 프로그래밍 가능한 전원 공급 장치 및 반전 스위치와 함께 작동합니다. 전원 공급장치는 최대 75A의 전류를 공급할 수 있어 최대 +/-1T의 가변 자기장 강도를 생성할 수 있습니다.
측정 본체 상세 보기
영구 자석 옵션(HCS 1)
HCS 1에는 두 개의 자기 회로(네오디뮴)가 장착되어 있으며, 선택적으로 자동화할 수 있는 이동식 캐리지에 장착되어 있습니다.
이 시스템에는 저온 및 고온 확장 장치를 모두 장착할 수 있습니다.
할바흐 옵션(HCS 100)
HCS 100은 할바흐 구성의 자석(도넛 구성의 영구 자석)을 사용하여 시료에 직류 또는 교류 자기장을 적용합니다.
이 설정은 대부분의 경우 오프셋과 노이즈를 억제할 수 있으므로 락인 증폭기가 공급하는 교류와 결합하여 까다로운 샘플을 분석하는 데 강력한 도구입니다.
소프트웨어
값을 가시화하고 비교 가능하게 만들기
모든 LINSEIS 장치는 PC로 제어되며, 개별 소프트웨어 모듈은 Microsoft® Windows® 운영 체제에서만 실행됩니다. 통합 소프트웨어는 간편한 취급, 온도 제어, 데이터 수집 및 데이터 분석을 가능하게 합니다.
일반:
- 최적의 측정 설정을 찾고 매우 정확한 결과를 얻기 위한 NIST 루틴
- 확장 연결 테스트
- 외부 전자기기 통합 가능
- 데이터베이스 스토리지 옵션
- 잠금 증폭기 통합(선택 사항)
- 자동 센서 인식(EEPROM)
- 자동 평가
- 완전 자동 냉각 제어
- HCS 10 사용자 지정 데이터에 대한 온라인 액세스
애플리케이션 (Application)
충분한 정보 제공
