HCS 1/10/100

Caractérisation des semi-conducteurs et des dispositifs

Description

En bref

Les systèmes Linseis HCS sont principalement utilisés pour caractériser les matériaux semi-conducteurs.
Ils peuvent déterminer la constante de Hall et la résistivité, ainsi que la concentration de porteurs de charge et les mobilités de Hall des échantillons qui en découlent.
L’unité de base de bureau est disponible en différentes configurations, qui peuvent être équipées, entre autres, de différents supports d’échantillons pour différentes géométries d’échantillons et exigences de température.

Une extension basse température en option pour l’utilisation d’azote liquide ainsi qu’une version haute température jusqu’à 800°C garantissent que tous les domaines d’application imaginables peuvent être couverts.
Les aimants permanents et électriques intégrés fournissent des champs magnétiques fixes ou variables allant jusqu’à près d’un tesla.
Le logiciel associé, complet et basé sur Windows©, permet d’enregistrer facilement les courbes I-V et I-R ainsi que de mesurer et d’évaluer la mobilité de Hall, la conductivité électrique et la concentration de porteurs de charge.

Les systèmes Linseis HCS peuvent mesurer une grande variété de matériaux, y compris Si, SiGe, SiC, GaAs, InGaAs, InP, GaN (type N & type P), mais aussi des couches métalliques, des oxydes métalliques et bien d’autres.
Nous nous ferons un plaisir de vous démontrer les performances de l’appareil en effectuant des mesures d’essai dans notre laboratoire d’application.


Fonctions de mesure :

  • Densité des porteurs de charge (couche [1/cm²]/ matériau plein [1/cm³])
  • Constante de Hall [cm³/C]
  • Mobilité de la réverbération [cm²/Vs]
  • Résistance de couche [Ω]
  • Résistance spécifique [Ωcm]
  • Conductivité électrique[S/cm]
  • Alpha (rapport entre la résistance horizontale et la résistance verticale)
  • Résistance magnétique
  • Coefficient Seebeck (µV/K)


Caractéristiques de l’appareil :

  • Chambre de mesure étanche aux gaz, permettant des mesures dans des atmosphères définies ou des conditions de vide
  • Aimants de 120 mm de diamètre pour une homogénéité de champ maximale et une précision maximale (des échantillons jusqu’à 50 mm x 50 mm sont possibles)
  • Conception modulaire et évolutive du système
  • Version haute température jusqu’à 600°C/873K
  • Option d’éclairage par LED (plusieurs longueurs d’onde possibles)
  • Amplificateur de verrouillage en option pour des mesures avec un bruit minimal
  • Connexion pour l’utilisation de l’électronique de mesure externe
  • Logiciel intégré pour une utilisation conviviale

Caractéristiques uniques

Nombreuses possibilités de mesure: Détermination de la constante de Hall, de la résistivité
, de la concentration de porteurs de charge
et de la mobilité de Hall.

Large gamme de températures: possibilité de mesurer des températures cryogéniques (LN2) jusqu'à 600°C.

Conception modulaire du système: adaptable avec différents supports d'échantillons
et extensions de température.

Grande homogénéité de champ: aimants de 120 mm pour une précision maximale.

Logiciel intégré:
Utilisation conviviale
et analyse complète des données.

Service d'assistance téléphonique

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Notre service est disponible du lundi au
jeudi de 8h à 16h
et vendredi de 8h à 12h.

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Spécifications

Noir sur blanc

MODELL

HCS 1

Temperaturbereich:Von LN2 bis zu 600°C in verschiedenen Ausführungen
-160°C (Quench-Kühlung)
-196°C (Abkühlung)
Magnet:zwei Permanentmagnete mit +/- 0,7T
Durchmesser der Stange 120 mm
für höchste Gleichmäßigkeit (+/- 1% über 50mm)
Stromzufuhr:DC 1nA bis zu 125mA (8 Dekaden / Einhaltung +/- 12V)
Messung der Spannung:DC rauscharm / geringe Abweichung 1μV bis zu 2500mV, 4 Dekaden Verstärkung, Digitale Auflösung: 300pV
Sensoren/ Probengeometrie:- von 5 x 5 mm2 bis 12,5 x 12,5 mm2, maximale Probenhöhe 3 mm
- von 17,5 x 17,5 mm2 bis zu 25 x25 mm2, maximale Probenhöhe 5 mm
- von 42,5 x 42,5 mm2 bis zu 50 x 50 mm2, maximale Probenhöhe 5 mm
- Hochtemperaturplatte, 10 x 10mm2, max. Probenhöhe 2mm
Widerstandsbereich:10-4 bis zu 107(Ωcm)
Ladungsträgerkonzentration:107 bis zu 1021cm-3
Ladungsträgermobilität:0,1 bis 107(cm2/Volt sek)
Atmosphären:Vakuum, inert, oxidierend, reduzierend
Temperaturgenauigkeit:0.05°C

MODELL

HCS 10

Temperaturbereich:Von LN2 bis zu 600°C in verschiedenen Ausführungen
-160°C (Quench-Kühlung)
-196°C (Quench-Kühlung)
Magnet:Elektromagnet bis zu +/- 1 T variables Gleichfeld, Poldurchmesser 76 mm, Stromversorgung 75A / 40V.
Stromumkehrschalter für bipolare Messung. Alternative AC-Option für ein magnetisches Wechselfeld mit ~1 T nutzbarem Feld, bei einer Frequenz von bis zu 0,1 Hz
Stromzufuhr:DC 1nA bis zu 125mA (8 Dekaden / Einhaltung +/- 12V)
AC 16 μA bis zu 20 mA und Eingangsimpedanz: >100 GigaOhm von 1 mHz bis 100 kHz
Messung der Spannung:DC rauscharm / geringe Abweichung 1μV bis zu 2500mV, 4 Dekaden Verstärkung, Digitale Auflösung: 300pV
AC 20 nV bis zu 1V, variable Integrationszeiten und Verstärkung
Sensoren/ Probengeometrie:- von 5 x 5 mm2 bis 12,5 x 12,5 mm2, maximale Probenhöhe 3 mm
- von 17,5 x 17,5 mm2 bis 25 x 25 mm2, Maximale Probenhöhe 5 mm
- von 42,5 x 42,5 mm2 bis zu 50 x 50 mm2, Maximale Probenhöhe 5 mm
- Hochtemperaturplatte, 10 x 10 mm2, maximale Probenhöhe 2 mm
Widerstandsbereich:10-4 bis zu 107(Ωcm)
Ladungsträgerkonzentration:107 bis zu 1021cm-3
Ladungsträgermobilität:10-3 ~ 107cm2V-1s-1
Atmosphären:Vakuum, inert, oxidierend, reduzierend
Temperaturgenauigkeit:0.05°C

MODELL

HCS 100

Temperaturbereich:RT bis zu 500°C
Magnet:Magnet bis zu 0,5 T (AC oder DC Feld)
Multisegment Halbach Konfiguration, Innendurchmesser: 40mm, Höhe: 98mm
Stromzufuhr:DC 1nA bis zu 125mA (8 Dekaden / Einhaltung +/- 12V)
AC 16 μA bis zu 20 mA und Eingangsimpedanz: >100 GigaOhm von 1 mHz bis 100 kHz"
Messung der Spannung:DC rauscharm / geringe Abweichung 1μV bis zu 2500mV, 4 Dekaden Verstärkung, Digitale Auflösung: 300pV
AC 20 nV bis zu 1V, variable Integrationszeiten und Verstärkung"
Sensoren/ Probengeometrie:Bis zu 10 x 10 mm2, maximale Probenhöhe 2,5 mm
Widerstandsbereich:10-5 bis zu 107(Ωcm)
Ladungsträgerkonzentration:107 bis zu 1022cm-3
Ladungsträgermobilität:1 ~ 107cm2V-1s-1
Atmosphären:Vakuum, inert, oxidierend, reduzierend
Temperaturgenauigkeit:0.05°C

Aimant de Halbach HCS 100 (configuration Donute)

HCS 1 : capteurs interchangeables avec une EPROM, pour une utilisation plug-and-play facile.

Fiches techniques

Accessoires disponibles

  • Différents porte-échantillons sont disponibles pour les mesures de LN2 jusqu’à 600°C.
  • La poignée du porte-échantillon ferme la chambre de mesure de manière étanche au vide.
  • La chambre de mesure est équipée d’une entrée et d’une sortie de gaz, ce qui permet d’effectuer des mesures dans une atmosphère contrôlée et changeante.

Les variantes magnétiques du HCS

Option électromagnétique (HCS 10)

Un kit d’électroaimant est disponible en alternative à l’aimant permanent. L’électroaimant refroidi par eau fonctionne en combinaison avec une alimentation programmable et un inverseur. L’alimentation peut appliquer des courants allant jusqu’à 75 A, ce qui se traduit par une intensité de champ magnétique variable allant jusqu’à +/-1 T.

Vue détaillée du corps de mesure

Option d’aimant permanent (HCS 1)

Le HCS 1 est équipé de deux circuits magnétiques (néodyme) montés sur un chariot mobile, qui peut être automatisé en option.
Le système peut être équipé d’une extension basse température et d’une extension haute température.

Option Halbach (HCS 100)

Le HCS 100 utilise un aimant en configuration Halbach (aimant permanent en configuration Donut) pour appliquer un champ magnétique DC ou AC à l’échantillon.
Combinée à un courant alternatif fourni par un amplificateur de verrouillage, cette configuration est un outil puissant pour l’étude d’échantillons exigeants, car les décalages et le bruit peuvent être supprimés dans la plupart des cas.

Logiciel

Rendre les valeurs visibles et comparables

Tous les appareils LINSEIS sont pilotés par PC, les différents modules logiciels fonctionnant exclusivement sous les systèmes d’exploitation Microsoft® Windows®. Le logiciel intégré permet une manipulation, un contrôle de la température, une acquisition et une analyse des données faciles.

Généralités :

  • Routine NIST pour trouver les paramètres de mesure optimaux et obtenir des résultats très précis
  • Test de connexion avancé
  • Intégration possible d’électronique externe
  • Stockage de base de données en option
  • Intégration optionnelle d’un amplificateur de verrouillage
  • Reconnaissance automatique des capteurs (EEPROM)
  • Évaluation automatique
  • Régulation entièrement automatique du refroidissement
  • HCS 10 Accès en ligne aux données d’ajustement

Votre industrie

Exemple d’application : film mince d’antimoine (150 nm Sb)
L’antimoine (Sb) est un semi-métal largement utilisé dans le domaine de la thermoélectricité (sous forme d’alliages, par exemple Bi1-xSbx) et comme nouvelle application dans le domaine de la microélectronique. Cependant, les plus grandes applications de l’antimoine métallique sont les plaques de plomb et d’antimoine dans les batteries plomb-acide. La figure montre une caractérisation complète d’une couche mince sur substrat SiO2/Si obtenue par dépôt par pulvérisation avec la Linseis HCS 1 (option RT à 200°C).

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