L’oxyde d’indium et d’étain (ITO) est un semi-conducteur transparent à la lumière visible et est donc utilisé dans de nombreux domaines d’application nécessitant des semi-conducteurs optiquement transparents.
En particulier, les diodes, la microélectronique sur substrats de verre ou les antennes et capteurs invisibles contiennent ou sont souvent constitués d’ITO.
Les deux diagrammes montrent une mesure complète du coefficient de Hall, de la mobilité et de la résistivité pour deux échantillons différents de couches minces d’ITO (tous deux d’une épaisseur de 185 nm) de la température ambiante à 200 °C. Les mesures de la résistivité et du coefficient de Hall ont été effectuées à l’aide d’un appareil de mesure de la résistivité.
Les deux échantillons ont été obtenus par dépôt par pulvérisation.
La courbe bleu foncé du coefficient de Hall donne une valeur plus ou moins constante, tandis que la mobilité (rouge) et la résistivité augmentent avec la température.
